离心芯片上虹吸阀的设计与制备

• 作者: 何洋 杨儒元 苑伟政
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离心式微流控 虹吸阀 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 溶剂辅助键合 数控加工
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 156-160
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.03.004

摘要

实现了一种离心式微流控芯片上虹吸阀的快速设计及制备方法.通过分析力学基本原理,设计了一种离心式微流控芯片上虹吸阀结构.采用数控精雕在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上直接加工出凹形结构,再通过溶剂辅助键合得到封闭的微流控芯片.相对于传统的MEMS工艺,这种方法大大节省了加工时间和成本.同时相对于大多数聚合物材料的疏水特性,PMMA的亲水性可以避免材料表面亲水改性问题,简化了虹吸阀制备的工艺流程.该虹吸阀性能稳定,结构简单,能实现片上流体控制,为更加复杂的芯片提供了一种可靠的阀及一种快速制备方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苑伟政	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	70	351	10.0	14.0
2	何洋	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	26	371	12.0	19.0
3	杨儒元	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	1	2	1.0	1.0