误差分离技术在平面镜瑞奇-康芒法检测中的应用

• 作者: 张晓辉 朱硕
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 平面镜 瑞奇-康芒法 误差分离 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 7-12
• 页数: 6页
• 分类号: TH706
• 字数: 3014字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142201.0007

摘要

为了提高瑞奇-康芒法检测平面镜面形误差的精度,提出了利用检测系统光瞳面与被检平面镜表面的坐标映射关系插值拟合平面镜面形的方法.结合最小二乘法分析,解算了由光路调整引入的离焦误差,获得了更为真实的平面镜面形误差.理论仿真分析显示,此方法的平面镜测量误差可控制在λ/100(λ=632.8 nm)量级.对口径为40 mm的小口径平面镜进行了实际检测,检测过程中通过多角度旋转被测平面镜,利用坐标映射关系和幅值转换关系对测试波前进行恢复,在分离系统离焦误差后得到被检平面镜面形RMS值为0.018 6λ,与干涉仪直接检测得到的RMS值0.021λ相比,残差为0.002 4λ.实验结果证明了此种误差分离技术在瑞奇-康芒法对平面镜面形检测时的有效性与准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	70	732	13.0	25.0
2	朱硕	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	14	1.0	3.0