热致动微型阀膜片的仿真分析及工艺设计

• 作者: 唐建忠 曹剑 朱笑丛
• 来源期刊: 液压与气动
• 学科: 工学
• 关键词: 微型阀 双金属 膜片 ANSYS 工艺
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 研究 设计
• 页码范围: 13-17
• 页数: 5页
• 分类号: TH138
• 字数: 3040字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2014.01.004

摘要

热致动微型阀的主要结构部件为致动膜片.采用硅铝双金属作为膜片材料,设计了一种微型阀的结构,并分析其在温度变化条件下产生挠曲变形的原理.膜片的结构参数与加载温度对其变形量有着重要影响,需要对多个参数进行优化设计.利用ANSYS对膜片进行有限元分析,建立了膜片长度、厚度、宽度及其比例关系、温度对膜片变形的影响曲线,为结构设计提供了理论依据.最后,基于MEMS加工技术,对致动膜片进行了工艺设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹剑	合肥工业大学机械与汽车工程学院	3	6	2.0	2.0
2	朱笑丛	浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室	8	109	5.0	8.0
3	唐建忠	浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室	1	3	1.0	1.0