阴极离子镀AlCrN涂层化学元素面扫描与线扫描分析

• 作者: 付贵忠 孔德军 张垒 王文昌
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 交通运输
• 关键词: 阴极离子镀 AlCrN涂层 结合界面 面扫描 线扫描
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 235-240
• 分类号: UTG174.444|TH117.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2014.03.08

摘要

用阴极离子镀方法在TiC基金属陶瓷刀具表面制备了AlCrN涂层,通过扫描电镜、X射线衍射和能谱分析面扫描与线扫描等手段对AlCrN涂层组织结构和表面-界面化学元素分布进行了分析,并对其界面扩散结合机理进行了探讨.结果表明,TiC基金属陶瓷刀具由TiN、TiC和Ni组成,TiC和TiN为硬质相;AlCrN涂层表面均匀致密,由AlN和CrN组成,表面Al原子含量较高,形成了功能硬度梯度,耐磨性和抗氧化性能较好;涂层中化学元素分布均匀,在Ti、C、N、Al元素之间化学元素发生了扩散现象,与基体形成了冶金结合方式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔德军	常州大学机械工程学院	95	414	9.0	13.0
3	王文昌	常州大学石油化工学院	43	199	7.0	11.0
4	张垒	常州大学机械工程学院	16	80	5.0	7.0
7	付贵忠	常州大学机械工程学院	20	105	6.0	8.0