基于LabVIEW的激光双频外差干涉纳米位移测量系统

• 作者: 何京徽 孙坚 袁铭权 许素安 谢敏 钱飞 陈乐
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光外差干涉仪 纳米位移测量 LabVIEW
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 数据采集与处理
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TH741
• 字数: 2245字
• 语种: 中文

摘要

工业的发展对位置测量精度提出了越来越高的要求.测量外差干涉仪由于其自身测量范围广、测量速度高、稳定性好、分辨率高的特点,在纳米测量领域中得到广泛的应用.提出了一种基于LabVIEW的外差干涉纳米位移测量系统,该系统采用外差干涉仪作为位置检测单元,利用LabVIEW图形化编程语言开发了纳米精度位移测量系统.该系统可广泛应用于纳米计量和超精密测量领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈乐	中国计量学院机电工程学院	61	357	11.0	15.0
2	孙坚	中国计量学院机电工程学院	57	278	10.0	13.0
3	谢敏	中国计量学院机电工程学院	17	70	6.0	7.0
4	许素安	中国计量学院机电工程学院	23	117	8.0	10.0
5	钱飞	中国计量学院机电工程学院	5	33	3.0	5.0
6	何京徽	中国计量学院机电工程学院	1	14	1.0	1.0