MEMS加速度计可靠性评价技术

• 作者: 张瑞霞 张魁 赵海龙
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS加速度计 可靠性评价 失效模式 失效机理 实验验证
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 198-202
• 分类号: TH703|TN306
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.03.011

摘要

MEMS加速度计是动作识别设备、姿态控制设备等电子设备的核心器件,其功能失效会严重影响设备的可靠性.而目前国内外还没有MEMS器件的可靠性实验标准,这在一定程度上制约了MEMS加速度计的应用与发展.针对该现状,深入研究了MEMS加速度计敏感部件的失效模式及失效机理,得到了典型环境应力与器件失效的关系,分析了加载环境应力可能导致器件失效的环境实验,并选取了相应的MEMS加速度计产品进行了可靠性实验验证,得出了MEMS加速度计可靠性评价的初步试行方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵海龙	中国电子科技集团公司第十三研究所	5	13	2.0	3.0
2	张瑞霞	中国电子科技集团公司第十三研究所	9	28	2.0	5.0
3	张魁	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	13	1.0	3.0