石英玻璃真空腔的低温键合技术研究

• 作者: 刘元正 张晋宽 李俊 李攀 王继良 雷兴
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石英玻璃 真空腔 低温键合 水解/脱水
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 230-234
• 分类号: TN204
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2014.03.07

摘要

用于制造石英玻璃真空腔的低温键合技术受到了广泛的重视.该技术基于氢氧化物催化玻璃表面的水解/脱水过程,通过在键合界面之间形成硅酸盐三维网状结构实现键合,是一种高强度、高精确性、可靠的室温键合方法.本文简述了国际上低温键合技术的研究动态,对石英玻璃低温键合技术的工作原理进行了阐述,并设计了石英玻璃低温键合的详细实施步骤.通过对键合溶液浓度、键合过程、加速固化方法等关键工艺参数的分析和研究,实现了石英玻璃的低温键合,键合强度超过2.88 MPa,而键合界面与光胶一样均匀、透明.利用低温键合技术形成石英玻璃真空腔,漏率优于5×10-10 Pa· L/s

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李攀		11	58	5.0	7.0
2	刘元正		11	49	4.0	7.0
3	王继良		11	40	4.0	6.0
4	雷兴		4	3	1.0	1.0
5	李俊		5	4	1.0	1.0
6	张晋宽		3	13	2.0	3.0