射频板条激光器反射镜变形自适应补偿的有限元仿真研究

• 作者: 张洋 林义煌 柳娟
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 射频板条激光器 反射镜 ANASYS 有限元仿真 热补偿
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 346-349
• 页数: 4页
• 分类号: TN208
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AL20143404.346

摘要

针对射频板条CO2激光器所采用的非稳—波导混合腔反射镜热变形问题.利用有限元分析法仿真得出了反射镜的热变形和温度分布,并提出了一种背面多热丝同步加热自适应补偿方法.结果表明,加热补偿方法可将反射镜的曲率变形从0.16％降低到0.02％以内,并获得了不同激光功率下的补偿曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洋		4	16	2.0	4.0
2	柳娟		9	8	2.0	2.0
3	林义煌		3	0	0.0	0.0