纳机电矢量水听器耐压结构设计

• 作者: 刘林仙 刘源 张国军 张文栋 申辉 赵鹏
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 矢量水听器 纳机电 耐压
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 610-615
• 页数: 6页
• 分类号: TB565.1
• 字数: 2503字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.05.008

摘要

纳机电矢量水听器具有低频性能好，灵敏度高等性能优点，在深海探测领域具有巨大的应用潜力，为满足超深水工作的要求提出了绝缘托盘式新型封装结构，解决了纳机电矢量水听器的耐高静水压技术难题。首先，进行聚氨酯透声帽外围封装承压分析，理论论证聚氨酯基体树脂材料的极限耐静水压强度为42.3 MPa。然后，对MEMS芯片输出电压进行理论计算以及对其进行模态仿真，得出在高达20 MPa的静水压作用下，传感器的输出灵敏度基本无变化，而且工作频带有所拓宽。测试结果表明：改进封装的纳机电矢量水听器在高压20 MPa时，可以实时获得敲击信号；加压前后，该水听器在20 Hz~1000 Hz工作频带内水听器的灵敏度和指向性基本一致。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	75	334	8.0	13.0
2	张文栋	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
6	赵鹏	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	9	35	4.0	5.0
7	刘源	中北大学电子测试技术重点实验室	6	15	2.0	3.0
8	申辉	中北大学电子测试技术重点实验室	7	25	2.0	4.0
9	刘林仙	中北大学电子测试技术重点实验室	8	21	2.0	3.0