PERC太阳电池背面SiNx折射率的优化

• 作者: 回双双 季静佳 李果华 陆红艳
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: PERC SiNx 折射率 背面钝化 背面反射
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 半导体制造技术
• 页码范围: 447-451
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2014.06.010

摘要

提高背反射率、降低背表面复合速率是提高太阳电池转换效率的重要研究方向之一.SiNx薄膜因其良好的钝化特性不仅应用在传统太阳电池发射极钝化,也同时应用在局部背接触太阳电池(PERC)背表面,起到背面钝化及增加背反射的作用.为增强PERC太阳电池背钝化、提高电池背面长波光子的反射率,在背表面AlOx/SiNx叠层膜模型基础上,提出并研究了不同折射率的双层SiNx对PERC太阳电池性能的影响,实验结果表明:采用折射率2.4/2.0的SiNx薄膜,PERC太阳电池电性能相对较好,相对常规背钝化电池,开路电压、电流密度以及转换效率分别提高了1.8 mV,0.16 mA/cm2,0.11％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	回双双	江南大学理学院	2	31	2.0	2.0
2	陆红艳		1	6	1.0	1.0