离子镀膜技术的进展

• 作者: 刘欢 王福贞 那日松
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 离子镀膜技术 固态物质源离子镀膜技术 气态物质源离子镀膜技术 激励气体放电技术
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: TB722.3
• 字数: 7393字
• 语种: 中文

摘要

本文概括地介绍了五十年来离子镀膜技术的发展概况，介绍了离子镀膜技术的意义、原理、特点、发展和应用范围。从 D 。 M 。 Mattox 发明离子镀膜技术以来的五十年中，离子镀膜技术适应高端产品加工和高新技术发展的要求，得到了飞速发展。各种激励气体放电过程技术，提高等离子体密度的措施层出不穷，满足各种需要的新的薄膜材料在各个应用领域得到了广泛的应用。对国防事业、宇航事业、高新技术产品和美化人民生活做出了突出贡献。我们期待离子镀膜技术继往开来，在新的五十年中再放光彩。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王福贞	北京联合大学机电学院	6	24	2.0	4.0
2	刘欢	北京联合大学机电学院	13	18	1.0	4.0
3	那日松	北京联合大学机电学院	3	21	2.0	3.0