AZ31镁合金表面磁控溅射Al和TiN的试验研究

• 作者: 沈钰 祝向荣
• 来源期刊: 轻合金加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 镁合金 磁控溅射 Al膜 TiN膜 表面特性
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 表面处理工艺与设备
• 页码范围: 56-61,66
• 页数: 7页
• 分类号: TG156.8
• 字数: 3292字
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控溅射在AZ31镁合金表面分别沉积了Al膜和TiN膜.对这两种膜的表面特性进行了研究和比较.扫描电子显微镜(SEM)观察到沉积态样品的膜层是致密的.两种膜的样品在200℃温度下保温30 min热处理后,SEM观察到膜层仍旧是致密的,没有裂纹等缺陷产生.表面附着性试验表明,沉积态的膜层和镁合金基底间具有很好的附着性.纳米压痕测试结果表明,Al膜层表面和TiN膜层表面的显微硬度平均值分别为1.897 HV和23.85 HV,两者差一个数量级,TiN呈现硬质膜层的特性.还进行了模拟体液腐蚀膜层的试验,结果表明Al膜层在模拟体液中的耐腐蚀特性优于TiN膜层的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祝向荣		23	26	2.0	4.0
2	沈钰	中国科学院嘉兴轻合金技术工程中心	14	43	4.0	5.0