高频超声清洗中声场分布的仿真及实验研究

• 作者: 冯涛 董秀萍 谢爱云 黄雅婷
• 来源期刊: 河北科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 兆声清洗 纳米颗粒 声场 计算机仿真
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 国家青年/地区科学基金项目专栏
• 页码范围: 324-329
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 字数: 4783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7535/hbkd.2014yx04003

摘要

高频超声乃至兆声清洗广泛应用于半导体器件的超精密清洗,可以有效去除纳米颗粒污染.其中,声能在声场中的分布决定了清洗效果,包括去除均匀性和清洗对象破坏.对于矩形清洗槽内的声场分布,采用简正分解理论直接求解声压分布.结果表明,兆声声能集中于声源辐射轴所在的局部区域,声压波腹和波节分布反映声源振动面形状,而超声波声能扩散至全声场.采用水听器对超声波声场声压分布进行测量,与理论结果相符.由于截断误差和非线性空化误差的存在,理论值小于实验测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯涛	北京工商大学材料与机械工程学院	81	405	11.0	17.0
2	董秀萍	北京工商大学材料与机械工程学院	18	36	4.0	4.0
3	黄雅婷	北京工商大学材料与机械工程学院	7	32	4.0	5.0
4	谢爱云	北京工商大学材料与机械工程学院	1	4	1.0	1.0