基于PDMS薄膜的微透镜制作方法

• 作者: 冯建国 寻文鹏 常洪龙 洪水金
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: PDMS薄膜 聚合物 微透镜 软模压印 负压
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 257-261
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.04.009

摘要

提出了一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜的软模压印制作微透镜的方法.首先,采用具有钝化层的普通硅片作为基底加工出PDMS薄膜;然后,将薄膜粘于刻有对应孔径的硅模板上,薄膜在负压作用下产生凹陷,滴入快速固化的光固化树脂,固化后得到反向的模具作为制备微透镜结构的母板;最后,通过两次复制模具的方法,在PDMS上得到和母板一致的微透镜.实验测试了微透镜的厚度、焦距和成像效果,结果表明所得微透镜具有良好的表面形貌和聚光效果.这种制作方法可以极大地缩短微透镜的加工时间,并降低成本,为制作微透镜提供了一种简捷的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	常洪龙	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	25	112	6.0	10.0
2	洪水金	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	2	9	2.0	2.0
3	寻文鹏	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	1	6	1.0	1.0
4	冯建国	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	1	6	1.0	1.0