衢州硅烷气发展现状及未来整合发展模式

• 作者: 曾瑜
• 来源期刊: 化工生产与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯硅烷 电子气体 三氯氢硅
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 分类号: TQ264.1+1
• 字数: 3433字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-6829.2014.06.008

摘要

分析了国产化高纯硅烷气发展的迫切需求,着重介绍单硅烷气的特性、主要合成方法及用途,下游产业链发展,简述了衢州硅烷气体的发展技术现状优势,提出了衢州未来硅烷系列电子气体企业间原材料互供吃配的循环利用整合链式发展模式.