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摘要:
中国计量科学研究院经过多年研究,初步建立了国家纳米计量溯源体系,包括有:纳米几何结构计量标准装置、毫米级纳米几何结构计量标准装置、扫描探针显微镜校准装置、扫描电子显微镜校准装置和纳米薄膜厚度校准装置.实现了对微纳台阶高度、线间隔、线宽、膜厚的校准定值,还可满足扫描探针显微镜、扫描电子显微镜等微纳测量仪器的校准,有力地支撑了国家半导体及NMES/MEMS制造的发展.
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文献信息
篇名 国家纳米计量标准体系的初步建立
来源期刊 计量学报 学科 工学
关键词 计量学 纳米几何结构 关键尺寸 溯源 计量装置
年,卷(期) 2014,(z1) 所属期刊栏目 几何量计量
研究方向 页码范围 1-5
页数 5页 分类号 TB921
字数 4077字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-1158.2014.z1.01
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 任玲玲 35 122 6.0 9.0
2 高思田 93 567 11.0 19.0
3 李伟 27 92 5.0 8.0
4 施玉书 35 121 5.0 8.0
5 宋小平 31 105 5.0 8.0
6 李琪 21 48 4.0 5.0
7 李适 11 25 3.0 4.0
8 王鹤群 4 10 3.0 3.0
传播情况
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引文网络
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二级参考文献  (55)
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参考文献  (15)
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研究主题发展历程
节点文献
计量学
纳米几何结构
关键尺寸
溯源
计量装置
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
计量学报
月刊
1000-1158
11-1864/TB
大16开
北京1413信箱
2-798
1980
chi
出版文献量(篇)
3549
总下载数(次)
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20173
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