亚10 μm线宽的投影光刻物镜设计及其成像性能的实验测定

• 作者: 刘新 周金运 李浪林 袁炜 雷亮
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻 投影物镜 光学传递函数 MTF
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 光学器件与制造
• 页码范围: 311-315
• 页数: 5页
• 分类号: TN23|TN29
• 字数: 3707字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201435.0205004

摘要

采用Zemax软件设计出6镜片、数值孔径为0.06、2倍缩小、以405 nm半导体激光器为光源、分辨精度达5μm、视场12 mm×12 mm内波像差小于1/4波长、畸变小于0.005％的双远心投影光刻物镜的设计方法.将设计的物镜实物化,并对其光学传递函数(MTF)作精确的实验测定,利用所提出的MTF标准实验测量法,得到该投影物镜的成像性能达亚10μm线宽.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周金运	广东工业大学物理与光电工程学院	53	251	9.0	13.0
2	雷亮	广东工业大学物理与光电工程学院	27	59	5.0	6.0
3	袁炜		6	3	1.0	1.0
4	李浪林	广东工业大学物理与光电工程学院	2	4	1.0	2.0
5	刘新	广东工业大学物理与光电工程学院	2	3	1.0	1.0