基于FPGA的高速多通道AD采样系统的设计与实现

• 作者: 张之万 张广莹 徐加彦 陈兴林
• 来源期刊: 自动化与仪表
• 关键词: 光刻机 AD7606 多通道采样系统 状态机
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 计算机应用
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TP277
• 语种: 中文

摘要

光刻机控制系统是高精度伺服控制系统,其控制精度受环境因素(温度、湿度等因素)影响很大.为了实现对光刻机的高精度伺服控制,必须实时反馈周围环境的变化.状态机具有速度快、可靠性高、稳定性好的特点.本课题采用AD7606采样芯片,利用FPGA的可编程逻辑控制的特点,采用状态机思想,通过编程设计AD的读控制时序和读写时序,将采样结果实时保存在双口RAM里,实现高精度多通道AD采样系统.通过实验表明,设计的采样系统其速度、可靠性、采样精度达到要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈兴林	哈尔滨工业大学航天学院	164	1267	18.0	24.0
2	张广莹	哈尔滨工业大学航天学院	22	273	9.0	16.0
3	徐加彦	哈尔滨工业大学航天学院	9	34	3.0	5.0
4	张之万	哈尔滨工业大学航天学院	5	27	2.0	5.0