提高氢化炉进料温度的措施

• 作者: 刘阳赞 宋张佐 顾国宝
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 热氢化 四氯化硅 氢化炉
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 68-70
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 1373字
• 语种: 中文
• DOI: 12.3969/j.issn.1004-275X.2014.04.020

摘要

四氯化硅热氢化是改良西门子法生产多晶硅的关键环节，氢化炉的稳定运行是维持系统物料平衡的决定因素。分析了四氯化硅、氢气的进料状况对氢化炉运行的影响，并提出了既提高进料的温度，又节能降耗的措施。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾国宝		7	5	2.0	2.0
2	宋张佐		3	7	2.0	2.0
3	刘阳赞		4	7	2.0	2.0