影响气相色谱法分析三氯氢硅的因素讨论

• 作者: 孙红艳 温文兵 祁娜
• 来源期刊: 中国氯碱
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅 气相色谱 多晶硅 准确度
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 检测与自控
• 页码范围: 31-32
• 页数: 2页
• 分类号: TQ075+.3
• 字数: 1964字
• 语种: 中文

摘要

讨论了三氯氢硅的分析方法,对分析结果影响较大的因素,有针对性地提出了应对方法,为准确分析三氯氢硅含量提供帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温文兵		1	2	1.0	1.0
2	孙红艳		1	2	1.0	1.0
3	祁娜		1	2	1.0	1.0