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气体流速对FCVA技术制备nc-ZrC/a-C:H复合膜的影响?
气体流速对FCVA技术制备nc-ZrC/a-C:H复合膜的影响?
作者:
伏开虎
周晗
周福增
廖斌
张旭
曹望
李作文
黄鑫
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
磁过滤阴极真空弧(FCVA)
nc-ZrC/a-C:H
气体流速
摘要:
采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术,室温下通入C2 H2在Si(100)与304不锈钢片上制备nc-ZrC/a-C:H 复合薄膜.采用 XRD、Raman、XPS、SEM-EDS研究了薄膜的成分及微观结构,利用纳米力学探针和摩擦磨损仪测试薄膜的硬度及摩擦磨损性能.主要讨论了不同C2 H2气体流速对复合膜成分、结构及其性能的影响,研究结果表明:C2 H2气体流速由20 mL·min-1增加到70 mL·min-1时,薄膜中的C原子分数逐渐升高;气体流速超过70 mL·min-1后,C 原子分数趋于平稳(约为75%).随着气体流速的增加,薄膜硬度呈现先增后减的趋势,当气体流速为40 mL·min-1时(C原子分数约为65%),制备的薄膜综合机械性能达到最佳(硬度41.49 GP,摩擦因数0.25).
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磁过滤阴极真空弧法(FCVA)
纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜
气体流量
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内容分析
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文献信息
篇名
气体流速对FCVA技术制备nc-ZrC/a-C:H复合膜的影响?
来源期刊
北京师范大学学报(自然科学版)
学科
物理学
关键词
磁过滤阴极真空弧(FCVA)
nc-ZrC/a-C:H
气体流速
年,卷(期)
2014,(6)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
609-613
页数
5页
分类号
O484.5
字数
2836字
语种
中文
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
磁过滤阴极真空弧(FCVA)
nc-ZrC/a-C:H
气体流速
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
北京师范大学学报(自然科学版)
主办单位:
北京师范大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
0476-0301
CN:
11-1991/N
开本:
大16开
出版地:
北京新外大街19号
邮发代号:
82-406
创刊时间:
1956
语种:
chi
出版文献量(篇)
3342
总下载数(次)
10
总被引数(次)
24959
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