气体流速对FCVA技术制备nc-ZrC/a-C：H复合膜的影响?

• 作者: 伏开虎 周晗 周福增 廖斌 张旭 曹望 李作文 黄鑫
• 来源期刊: 北京师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁过滤阴极真空弧(FCVA) nc-ZrC/a-C:H 气体流速
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 页码范围: 609-613
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2836字
• 语种: 中文

摘要

采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术,室温下通入C2 H2在Si(100)与304不锈钢片上制备nc-ZrC/a-C：H 复合薄膜.采用 XRD、Raman、XPS、SEM-EDS研究了薄膜的成分及微观结构,利用纳米力学探针和摩擦磨损仪测试薄膜的硬度及摩擦磨损性能.主要讨论了不同C2 H2气体流速对复合膜成分、结构及其性能的影响,研究结果表明：C2 H2气体流速由20 mL·min-1增加到70 mL·min-1时,薄膜中的C原子分数逐渐升高；气体流速超过70 mL·min-1后,C 原子分数趋于平稳(约为75%).随着气体流速的增加,薄膜硬度呈现先增后减的趋势,当气体流速为40 mL·min-1时(C原子分数约为65%),制备的薄膜综合机械性能达到最佳(硬度41.49 GP,摩擦因数0.25).