基于电化学加工的微钠探针制备技术

• 作者: 吴修娟 曲宁松 曾永彬 朱荻 王玉峰
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 探针 尖锥状 大长径比 液膜电化学加工
• 年，卷（期）: 2014,（z1）
• 所属期刊栏目: 设计?研究
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: TG662
• 字数: 2220字
• 语种: 中文

摘要

提出了基于液膜电化学加工原理制备尖锥形和大长径比探针的方法。分析了液膜电化学加工方法的机理，并采用静态液膜法制备出针尖曲率半径为40 nm的尖锥形探针，再通过动态液膜电化学加工方法，即在工件阳极施加往复直线运动的方法制备出具有大长径比的探针。对动态液膜法的成形机理进行了阐述，通过试验分析得出加工电压、电解液浓度、运动参数等对探针长径比和平均直径的影响规律，并制备出长径比达70、平均直径为300 nm的大长径比探针。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻	南京航空航天大学机电学院	237	3580	30.0	43.0
2	曲宁松	南京航空航天大学机电学院	95	905	19.0	24.0
3	曾永彬	南京航空航天大学机电学院	54	480	14.0	18.0
4	王玉峰	南京航空航天大学机电学院	5	15	2.0	3.0
5	吴修娟	南京航空航天大学机电学院	4	9	2.0	2.0