射频功率对红外光学用类金刚石膜结构和性能的影响

• 作者: 古宏伟 张华 杨坚 杨玉卫
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜 RF-PECVD Raman光谱 红外透过率
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 880-884
• 页数: 5页
• 分类号: O484|TN213
• 字数: 2568字
• 语种: 中文

摘要

利用射频等离子体增强化学气相沉积技术，以CH4为气源，在单晶锗基底上制备了具有红外增透效果的薄膜。Raman光谱分析表明，D峰和G峰分别位于1200～1450 cm－1和1500～1700 cm－1之间，说明薄膜具有典型的类金刚石的特征峰，可知镀制的薄膜是类金刚石膜。通过研究射频功率对类金刚石膜红外透过率以及硬度等性能的影响，分析了类金刚石膜的红外透过率和纳米硬度随着薄膜中sp3含量的增加而增大的原因，从而找出一种利用PECVD方法制备DLC膜的最佳工艺参数。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨坚		34	201	6.0	13.0
2	张华		20	152	5.0	12.0
3	杨玉卫	北京有色金属研究总院产业发展部	7	48	3.0	6.0
4	古宏伟	中国科学院电工研究所	13	41	4.0	6.0