普发真空HiPace涡轮分子泵

• 来源期刊: 实验与分析
• 学科: 工学
• 关键词: 涡轮分子泵 真空 转子结构 分子气体 气流量 兼容性 压缩比 抽速
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 62-62
• 页数: 1页
• 分类号: TB752.27

摘要

普发真空HiPace涡轮分子泵最突出的特点是采用独一无二的转子结构并搭配混合轰承技术。使得分子泵无论在抽速、前级真空兼容性和气流量方面，还是对小分子气体的压缩比方面都有较强优势。