氢等离子体处理对 ZnO光电性质的影响

• 作者: 付康宁 杨坤 董敬敬
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO 氢等离子体 光电性质
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 学生园地
• 页码范围: 43-45,48
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2317字
• 语种: 中文

摘要

借助于霍尔效应、拉曼散射、光致发光及电致发光测试技术，研究了氢等离子体处理以及随后的高温退火过程对ZnO薄膜及ZnO纳米棒光学及电学性质的影响。实验结果表明：氢在ZnO薄膜中不仅充当浅施主，而且还可以钝化晶界处缺陷相关的非辐射复合中心，从而使得载流子浓度及迁移率增大，近带边紫外发光增强。然而，钝化晶界的氢热稳定性较差，500℃时已经完全扩散出ZnO薄膜，因此，500℃退火后载流子迁移率及近带边紫外发光强度迅速减弱。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨坤	中国地质大学地球物理与信息技术学院	2	4	2.0	2.0
2	付康宁	中国地质大学地球物理与信息技术学院	2	4	2.0	2.0
3	董敬敬	中国地质大学北京数理学院	4	4	2.0	2.0