浮动式剪应力微传感器的标定

• 作者: 秦文君 邓进军 韩蕾 项志杰 马炳和
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 剪应力 微传感器 浮动单元 标定 误差
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 236-242
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.04.006

摘要

流体壁面剪应力微传感器的精确标定是进行流动测量的基础.分别采用自重加载、离心加载和风洞吹风三种不同方法,对基于电容检测原理的浮动单元剪应力微传感器进行标定与实验研究.对比了三种实验方法和标定的结果,分析了标定过程中的设备、传感器的加工及安装等误差的影响.研究结果表明,标定的传感器灵敏度为30 mV/Pa,三种标定方法的误差在2％以内,采用离心加载标定的误差最小;为进一步减小标定误差提供了改进方法.利用标定后的传感器,在风洞中对标准翼型的定点壁面剪应力值进行了测量,与仿真结果进行对比,二者能够较好吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马炳和	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	33	167	7.0	11.0
2	韩蕾	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	3	44	2.0	3.0
3	邓进军	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	18	57	4.0	6.0
4	项志杰	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0
5	秦文君	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0