MOCVD生长氮化镓晶片的尾气处理、回收和循环使用

• 作者: 吴彦敏 吴纳新
• 来源期刊: 气体分离
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD尾气处理 回收 循环使用
• 年，卷（期）: qtfl_2014,（3）
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TQ133.51

摘要

蓝光LED晶片主要由超高纯氨(氮源)、有机金属化合物(MO源)和蓝宝石衬底等三大核心材料,通过MOCVD半导体外延设备生长得到。在生长过程中会有大量尾气产生。本文主要介绍了三种MOCVD尾气处理方式:催化转化处理,微分吸收法处理和压缩冷凝法,并做了比较。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴彦敏		1	0	0.0	0.0
2	吴纳新		1	0	0.0	0.0