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MOCVD生长氮化镓晶片的尾气处理、回收和循环使用
MOCVD生长氮化镓晶片的尾气处理、回收和循环使用
作者:
吴彦敏
吴纳新
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
MOCVD尾气处理
回收
循环使用
摘要:
蓝光LED晶片主要由超高纯氨(氮源)、有机金属化合物(MO源)和蓝宝石衬底等三大核心材料,通过MOCVD半导体外延设备生长得到。在生长过程中会有大量尾气产生。本文主要介绍了三种MOCVD尾气处理方式:催化转化处理,微分吸收法处理和压缩冷凝法,并做了比较。
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篇名
MOCVD生长氮化镓晶片的尾气处理、回收和循环使用
来源期刊
气体分离
学科
工学
关键词
MOCVD尾气处理
回收
循环使用
年,卷(期)
qtfl_2014,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
32-34
页数
3页
分类号
TQ133.51
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研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
气体分离
主办单位:
中国通用机械气体分离设备行业协会
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
开本:
16开
出版地:
邮发代号:
创刊时间:
2003
语种:
chi
出版文献量(篇)
2920
总下载数(次)
10
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