基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
蓝光LED晶片主要由超高纯氨(氮源)、有机金属化合物(MO源)和蓝宝石衬底等三大核心材料,通过MOCVD半导体外延设备生长得到。在生长过程中会有大量尾气产生。本文主要介绍了三种MOCVD尾气处理方式:催化转化处理,微分吸收法处理和压缩冷凝法,并做了比较。
推荐文章
氮化镓的合成制备及前景分析
氮化镓
薄膜
纳米结构
制备
聚乙烯尾气完全回收和利用技术
聚乙烯尾气
催化脱氢
变压吸附
完全回收
利用
从专利视角浅议中国氮化镓技术的产学研融合
氮化镓
产学研融合
专利
专利联合申请
质子在氮化镓中产生位移损伤的Geant4模拟
质子
氮化镓
位移损伤
Geant4
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 MOCVD生长氮化镓晶片的尾气处理、回收和循环使用
来源期刊 气体分离 学科 工学
关键词 MOCVD尾气处理 回收 循环使用
年,卷(期) qtfl_2014,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 32-34
页数 3页 分类号 TQ133.51
字数 语种
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 吴彦敏 1 0 0.0 0.0
2 吴纳新 1 0 0.0 0.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
2014(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
MOCVD尾气处理
回收
循环使用
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
气体分离
双月刊
16开
2003
chi
出版文献量(篇)
2920
总下载数(次)
10
论文1v1指导