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ITO薄膜方块电阻测试方法的探讨
ITO薄膜方块电阻测试方法的探讨
作者:
关自强
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
ITO薄膜
方块电阻
双电测四探针法
标准样片
摘要:
针对ITO薄膜方块电阻测试方法,文章探讨了常规的四探针法与双电测四探针法在实际生产中的适应性、准确性。根据玻璃基板上的 ITO薄膜和聚脂薄膜上的ITO薄膜的结构、物理特性不同特点,测试方块电阻时应注意的细节作出了必要的阐述。并对生产中有关方块电阻测试的注意事项作出详细说明。
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篇名
ITO薄膜方块电阻测试方法的探讨
来源期刊
真空
学科
工学
关键词
ITO薄膜
方块电阻
双电测四探针法
标准样片
年,卷(期)
2014,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
44-48
页数
5页
分类号
TM934.14
字数
5195字
语种
中文
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关自强
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方块电阻
双电测四探针法
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研究来源
研究分支
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期刊影响力
真空
主办单位:
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1002-0322
CN:
21-1174/TB
开本:
大16开
出版地:
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号:
8-30
创刊时间:
1964
语种:
chi
出版文献量(篇)
2692
总下载数(次)
3
总被引数(次)
12898
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