利用双波长数字全息术测量微小物体表面形貌

• 作者: 寇云莉 张颜艳 李恩普 李敏茹 赵建林 邸江磊
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 全息 数字全息术 相位解包裹 形貌测量
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 全息术与三维成像技术及应用
• 页码范围: 86-91
• 页数: 6页
• 分类号: O438
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0209010

摘要

针对表面高度起伏较大的物体的三维形貌测量问题,提出了一种改进的离轴双波长数字全息测量方法.利用偏振分光原理,将两个波长的物光信息同时记录在一幅全息图上,并借助两个波长的频差形成远大于单一波长的等效波长,从而将数字全息术的纵向测量范围拓展到微米甚至毫米量级范围,有效克服了单波长数字全息术测量形貌起伏较大物体时不可避免的相位去包裹问题.对微米量级高度起伏的台阶状样品形貌进行了实验测量,测量结果与样品标称值及台阶仪测量值具有很好的一致性,证明了该方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵建林		90	1019	19.0	27.0
2	李恩普		26	184	9.0	12.0
3	邸江磊		7	71	3.0	7.0
4	寇云莉		1	0	0.0	0.0
5	张颜艳		1	0	0.0	0.0
6	李敏茹		1	0	0.0	0.0