润滑薄膜测量的双色光干涉强度调制技术

• 作者: 刘海超 洪政豪 赵国垒 郭峰
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 双色光干涉 强度调制 润滑油膜 厚度测量
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: ?光电测量与检测?
• 页码范围: 88-94
• 页数: 7页
• 分类号: O439
• 字数: 3184字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2014.10.015

摘要

光干涉技术是润滑薄膜厚度测量最有效的方法之一。双色光干涉法在保证较大膜厚测量范围及高测量分辨力的同时，避免了繁琐的干涉级次人工计数。传统的双色光干涉测量依赖于严格的静态标定和观测者。本文提出使用双色光干涉强度调制技术对微纳米润滑薄膜进行测量。通过干涉图像中红、绿分量强度值的线性叠加得到调制信号，根据信号特性分析得到特征位置膜厚，进而由干涉强度得到任一点膜厚。为验证所提出测量方法的正确，对静态球-盘赫兹接触表面间隙进行了测量，与经典理论有很好的一致性。结果表明：选用合适的红绿双色光波长，测量量程可达2μm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭峰	青岛理工大学机械工程学院	122	555	11.0	17.0
2	刘海超	青岛理工大学机械工程学院	7	50	4.0	7.0
3	赵国垒	青岛理工大学机械工程学院	5	36	4.0	5.0