气浮式测力传感器静特性的影响因素

• 作者: 张文伟 易嘉靖 陈世静 陶佳月 黄斌
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 测力传感器 喷嘴浮板机构 静特性 气膜厚度 进气压力 测压孔
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 390-396
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.12|TH823
• 字数: 3615字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142202.0390

摘要

采用理论、仿真及实验相结合的方法研究了气膜厚度、供气压力变化以及测压孔的设置对气浮测力传感器静特性的影响.叙述了喷嘴浮板机构的工作原理,建立了静特性方程.在不同气膜层厚度、不同供气压力和有无测压孔条件下,运用Fluent软件仿真出流场的气膜层速度和压力分布曲线,根据曲线分析了它们各自对气膜流场静特性的影响.最后,在气浮喷嘴实验平台上进行了实验验证.实验结果表明:气膜层厚度为5～ 100μm,供气压力分别为303、505、707kPa,软件仿真和实验所得到的线性度曲线、灵敏度曲线走向一致;有无测压孔对气膜层的承载力、速度没有太大影响.结果表明气膜厚度、供气压力的变化会影响气浮测力传感器静特性,而测压孔的设置对测力传感器的静特性无影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄斌	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	24	80	5.0	8.0
2	陈世静	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	15	2.0	2.0
3	易嘉靖	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	3	14	2.0	3.0
4	陶佳月	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	12	1.0	2.0