微机电系统微弹簧优化设计方法

• 作者: 张炜 李华
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: 微机电系统 微弹簧 弹性系数 优化设计
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文

摘要

针对现有微机电系统(MEMS )微弹簧研究中侧重于弹性系数的分析，微弹簧优化设计研究则不足的情况，提出了微机电系统微弹簧优化设计方法。该方法根据 MEMS工艺易于平面图形加工的优势，采用 Matlab软件的fgoalattain函数对“L”型微弹簧的线宽进行优化设计，以降低“L”型微弹簧的最大应力。仿真验证表明：在保证微弹簧相同尺寸和弹性系数的前提下，最大应力减少了20%，为后续MEMS微弹簧的结构设计提供了参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李华	桂林电子科技大学生命与环境科学学院	24	51	4.0	6.0
2	张炜	桂林电子科技大学国家软件与集成电路公共服务平台广西分中心	3	6	2.0	2.0