氮分压对 Ti0.33Al0.67N 陶瓷膜层形貌与性能的影响

• 作者: 刘崇林 卢龙 张会霞 战宏伟
• 来源期刊: 有色金属工程
• 学科: 工学
• 关键词: 梯度膜层 Ti0.33Al0.67N陶瓷膜层 膜层形貌 膜层性能
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 工程技术 ENGINEERING TECHNOLOGY
• 页码范围: 24-26
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.44
• 字数: 1189字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1744.2014.03.004

摘要

应用多弧离子镀技术在不同的氮气分压条件下制备 Ti0.33Al0.67N 陶瓷膜层，分析氮气分压对膜层形貌的影响和对膜层厚度、结合力及显微硬度等性能的影响。结果表明，氮气分压参数设计范围内存在一个最佳值，可以获得膜层最优性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张会霞	淮海工学院机械工程学院	27	65	5.0	6.0
2	卢龙	淮海工学院机械工程学院	18	118	6.0	10.0
3	刘崇林	江苏科技大学材料科学工程学院	3	15	2.0	3.0
4	战宏伟		2	2	1.0	1.0