纤毛式MEMS传感器技术研究

• 作者: 刘涛 张家雄 曹晓瑞 陈尚 陈永强
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 纤毛式 仿生学 MEMS传感器
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 技术综述
• 页码范围: 14-19
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2604字
• 语种: 中文

摘要

首次综合国内外纤毛式MEMS传感器的研究成果,分别介绍了基于纤毛仿生原理的三维微触觉传感器、三维微力传感器、微声传感器、水流传感器、微几何测量传感器以及矢量水声传感器等.该类型传感器充分地将仿生学和MEMS技术结合起来,具有结构新颖精巧、体积小、功耗低、响应快、温漂小、精度高等优点,为开发具有自主知识产权的新型器件提供了新的思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张家雄	中国运载火箭技术研究院研究发展中心	7	28	3.0	5.0
2	刘涛	中国运载火箭技术研究院研究发展中心	13	30	3.0	5.0
3	陈永强	中国运载火箭技术研究院研究发展中心	8	33	3.0	5.0
4	曹晓瑞	中国运载火箭技术研究院研究发展中心	7	10	2.0	3.0
5	陈尚	中国运载火箭技术研究院研究发展中心	6	30	3.0	5.0