微磨削锥塔结构光滑表面的自适应方向检测与微加工精度

• 作者: 刘旭冉 卢泳贤 吴可可 李萍 谢晋
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 白光干涉术 自适应方向检测 微结构表面 微磨削精度
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 376-382
• 页数: 7页
• 分类号: TH744.3|TG115.5
• 字数: 2581字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142202.0376

摘要

用白光干涉检测(WLI)法检测微结构表面形貌时,其光滑结构面和边角数据很容易丢失,因此本文提出了自适应方向WLI检测法.该方法分别沿着每个微斜面法向进行自适应方向检测,评价分析其面形、特征轮廓和特征点的加工精度.首先,采用# 3000金刚石砂轮微细尖端在Si表面加工出高度为50 μm、宽度为56 μm且光滑的微锥塔结构.然后,利用四次检测点云对微磨削表面进行拼接与重建.最后,分析面形误差、特征轮廓误差和特征点误差.实验显示:自适应方向WLI检测可以重构出完整的微锥塔结构表面,微磨削的面形误差为5.3 μm,表明该微磨削技术可以确保微锥塔结构光滑Si表面的加工精度.但是,对微锥塔结构表面特征轮廓误差及特征点误差的评价表明,特征轮廓误差高达7.7μm,而特征点误差约为15 μm,约为面形误差的3倍.分析认为这些误差是由微金刚石砂轮V形尖端磨钝及微磨粒钝化造成的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李萍	华南理工大学机械与汽车工程学院	39	414	10.0	19.0
2	谢晋	华南理工大学机械与汽车工程学院	33	406	12.0	19.0
3	吴可可	华南理工大学机械与汽车工程学院	4	77	4.0	4.0
4	刘旭冉	华南理工大学机械与汽车工程学院	1	5	1.0	1.0
5	卢泳贤	华南理工大学机械与汽车工程学院	1	5	1.0	1.0