LPE生产高阻厚外延产品的自掺杂改善

• 作者: 方正华
• 来源期刊: 世界有色金属
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 技术进步
• 页码范围: 42-43
• 页数: 2页
• 语种: 中文

摘要

随着家电、平板电脑、汽车等消费市场不断增长的需求,功率器件的需求量也在逐年增长,所以厚外延高阻材料需求也同步增加.厚外延的材料,主要是在LPE上生产.因LPE为多片式的炉台,所以外延阻值均匀性的改善尤为重要. 原理 厚外延产品,因外延沉积时间长,且LPE为多片硅片一起生长,所以外延自掺杂的现象尤为严重. 外延时的自掺杂出现的主要原因有三个:一是硅片正面的掺杂外扩,二是硅片背面及边缘的掺杂外扩,三是相邻基座的硅片及外延温场的影响.