有晶圆滞留时间约束的集束型装备调度问题研究

• 作者: 卢睿 李林瑛
• 来源期刊: 系统仿真学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造 集束型装备 双臂机械手 可调度性分析 线性规划模型
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 信息、控制、决策与仿真
• 页码范围: 1775-1780
• 分类号: TP241.2|TP278
• 语种: 中文

摘要

考虑有滞留时间约束的集束型装备调度模型和可调度性问题,建立了包括双臂机械手和加工模块时序约束关系的线性规划模型.在此模型基础上,分析了装备双臂机械手和加工模块周期性加工和搬运晶圆过程,从理论上证明了集束型装备可调度性的充要条件,并提出通过减少并行模块数目、选择合适的加工时间和滞留时间的控制策略,使不可调度方案变的可调度.对模型和可调度性条件进行了仿真实验和工程软件实现,证明了提出的模型和控制策略有助于减少测试晶圆数目,从而提高晶圆生产效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李林瑛	大连外国语大学软件学院	16	35	4.0	5.0
2	卢睿	辽宁警官高等专科学校公安信息系	5	27	4.0	5.0