多弧离子镀TiN薄膜颜色性能的研究

• 作者: 匡同春 张启沛 曾德长 李春明 杨怡帆 邱万奇 钟喜春
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 TiN薄膜 氮气流量 靶电流 颜色
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 694-699
• 分类号: TB43|TG115.21
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2014.07.06

摘要

用多弧离子镀技术在3Cr13不锈钢表面沉积TiN薄膜,用扫描电子显微镜和可见光分光光度计研究了大颗粒、氮气流量与靶电流对膜层颜色性能的影响及其作用规律.结果表明,大颗粒由表面结晶层、中间层和液滴层组成,大颗粒数量较少时不会影响薄膜的颜色性能.增加氮气流量,样品的反射率呈下降趋势,颜色坐标红/绿值a*和黄/蓝值b*增大,明度L*减小,彩度指数C*ab增大,色调角H*ab减小,薄膜颜色由银灰色逐渐变化为深黄色;然而,随着靶电流的增大,色调角H*ab增大,彩度指数C*ab、红/绿值a*和黄/蓝值b*减小,薄膜颜色从深黄色逐渐变为银白色.靶电流的变化改变了膜层中钛和氮的原子比,可对氮气流量的变化起到补偿作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾德长	华南理工大学材料科学与工程学院	127	548	11.0	17.0
2	李春明	华南理工大学材料科学与工程学院	16	97	6.0	9.0
3	邱万奇	华南理工大学材料科学与工程学院	67	339	9.0	15.0
4	钟喜春	华南理工大学材料科学与工程学院	59	230	8.0	12.0
5	匡同春	华南理工大学材料科学与工程学院	30	336	9.0	17.0
6	张启沛	华南理工大学材料科学与工程学院	3	33	3.0	3.0
7	杨怡帆	华南理工大学材料科学与工程学院	1	9	1.0	1.0