MPCVD金刚石膜沉积技术及金刚石膜材料在微波电真空器件中的应用

• 作者: 丁明清 冯进军 唐伟忠 李莉
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波等离子体法 金刚石膜 微波电真空器件
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 电子陶瓷、陶瓷-金属封接专辑
• 页码范围: 12-16
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3407字
• 语种: 中文

摘要

金刚石膜是一种集众多优异性能于一身的新材料,尤其是其热导率高、绝缘性能好以及微波介电损耗低等特点,使金刚石膜在微波电真空器件领域有着重要的应用前景.目前,以微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法制备高品质金刚石膜的技术已趋向成熟.本文将针对微波电真空器件这一应用背景,简要介绍国内外高品质金刚石膜MPCVD沉积技术的发展现状,进而对金刚石膜材料应用于微波电真空器件领域的一些典型实例进行简单的介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯进军	北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家实验室	84	447	12.0	17.0
2	唐伟忠	北京科技大学新材料技术研究院	106	860	16.0	21.0
3	丁明清	北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家实验室	16	102	6.0	10.0
4	李莉	北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家实验室	1	0	0.0	0.0