基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件

• 作者: 何兴理 周剑 王德苗 金浩 骆季奎
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性衬底 ZnO薄膜 压电薄膜 声表面波器件
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 346-350
• 页数: 5页
• 分类号: TN65|TN384
• 字数: 2681字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142202.0346

摘要

提出并制备了基于聚酰亚胺柔性衬底的声表面波(SAW)器件.在柔性聚酰亚胺衬底上低温反应磁控溅射沉积了ZnO压电薄膜;采用X射线衍射仪,扫描电子显微镜,原子力显微镜等设备对ZnO薄膜进行了检测,结果表明:ZnO薄膜晶粒呈柱状生长并且(002)择优取向,膜粗糙度小于9 nm,适合制作压电器件.在柔性衬底上制备了基于ZnO压电薄膜的SAW器件,该器件表现出良好的谐振性能.采用矢量网络分析仪检测器件的传输曲线,实验结果与仿真结果具有很好的一致性.随着波长减小,谐振频率和相速度增加,当ZnO厚度为4μm,波长为8 μm时,器件的谐振频率为268MHz,相速度为2 144m/s,机电耦合系数为1.1％;当ZnO厚度增加时,此叠层结构的声表面器件的叠层声速也增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王德苗	浙江大学信息与电子工程学系	66	789	15.0	24.0
2	金浩	浙江大学信息与电子工程学系	27	227	10.0	14.0
3	何兴理	浙江大学信息与电子工程学系	4	39	3.0	4.0
4	周剑	浙江大学信息与电子工程学系	4	40	3.0	4.0