基于激光差动共焦技术的后顶焦度测量系统

• 作者: 李林 李飞 洪宝玉 赵维谦
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 激光差动共焦定焦 后顶焦度 定焦误差 校准
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 129-132
• 页数: 4页
• 分类号: TB96
• 字数: 2737字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2014.02.07

摘要

为满足后顶焦度高精度测量需求,提出了一种基于激光差动共焦技术的后顶焦度测量方法,研制了一套测量系统.该系统将激光差动共焦技术的精密定焦性能应用于后顶焦度测量,显著地提高了定焦定位能力,利用干涉测长技术测量相应偏离距离,最终实现后顶焦度的精密测量.分析了测量装置的设计思路和测量精度的影响因素.理论分析和实验结果表明,该系统测量精度可达0.03 m-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李林		42	359	12.0	17.0
2	赵维谦		55	192	8.0	11.0
3	洪宝玉		25	37	2.0	5.0
4	李飞		14	20	2.0	4.0