Nb5 N6 microbolometer太赫兹检测器

• 作者: 吴培亨 孙振龙 康琳 徐磊 毛庆凯 涂学凑 金飚兵 陈健
• 来源期刊: 南京大学学报（自然科学版）
• 关键词: Nb5N6薄膜 microbolometer 太赫兹检测器 太赫兹成像
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 页码范围: 269-272
• 页数: 4页
• 字数: 1214字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13232/j.cnki.jnju.2014.03.004

摘要

随着太赫兹科学技术的快速发展,太赫兹检测器件的性能也在不断提高,为微弱信号的检测和太赫兹成像奠定了坚实的基础.本文针对Nb5 N6薄膜材料,研制了 Nb5 N6 microbolometer阵列芯片及其基于这种芯片的太赫兹准光型接收机.单个 Nb5 N6 microbolometer 的直流电压响应最高达760 V/W,对应的直流噪声等效功率(NEP)为1.3×10-11 W/√Hz.在实际系统中,由串联结构的 Nb5 N6 microbolometer构成的准光接收机,光学电压响应率高达428 V/W,对应的光学噪声等效功率(NEP)为2.3×10-11 W/√Hz.Nb5 N6 microbolometer太赫兹检测器室温工作、工艺简单、检测灵敏度高,响应时间快,便于集成超大规模阵列,为太赫兹信号检测提供了一种有效的途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴培亨		3	1	1.0	1.0