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高沉积率低动能气流溅射系统
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摘要：
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磁控溅射沉积U薄膜性能研究
U薄膜
组织
结构
密度
铝表面磁控溅射沉积不锈钢薄膜及其性能
直流反应磁控溅射
铝箔
不锈钢
薄膜
中频脉冲磁控溅射沉积氮化铝薄膜及性能研究
氮化铝
形貌
折射率
磁控溅射
氮气流量对磁控溅射ZrN纳米涂层结构及硬度的影响
氮化锆
纳米涂层
磁控溅射
取向性
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期刊影响力
太阳能
主办单位：
中国可再生能源学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1003-0417
CN：
11-1660/TK
开本：
16开
出版地：
北京市海淀区花园路3号
邮发代号：
2-164
创刊时间：
1980
语种：
chi
出版文献量（篇）
5613
总下载数（次）
10
总被引数（次）
15507
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