可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪

• 作者: 刘蕾 曾爱军 朱玲琳 黄惠杰
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 相干光学 波面检测 横向剪切 干涉仪 等光程差
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 164-167
• 页数: 4页
• 分类号: TH744
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0108003

摘要

提出了一种可用于小口径光束波面检测的横向剪切干涉仪.该干涉仪由偏振分光棱镜、光轴与其表面平行的晶体平板、1/4波片、反射镜及CCD构成.被测光束由偏振分光棱镜进行透射起偏和反射检偏,利用反射镜的反射两次经过晶体平板、1/4波片来实现剪切光束的等光程干涉.通过晶体平板剪切复制波面以获得小的剪切量,可用于小口径光束波面的检测.晶体平板的旋转可以改变剪切量,实现了不同口径不同波前的光束波面检测.对该干涉仪进行了仿真分析,得到了不同入射角情况下的剪切干涉图,仿真结果与理论分析结果相一致.实验中,旋转晶体平板得到的剪切干涉图与仿真结果相一致,很好地验证了该剪切干涉仪的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄惠杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	69	544	13.0	23.0
2	曾爱军	中国科学院上海光学精密机械研究所	33	188	8.0	13.0
3	刘蕾	中国科学院上海光学精密机械研究所	13	47	5.0	6.0
4	朱玲琳	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	0	0.0	0.0