移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计

• 作者: 唐玉国 宋莹 巴音贺希格 张宁 齐向东
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 全息光栅 曝光 莫尔条纹 相位锁定 声光调制器
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 318-324
• 页数: 7页
• 分类号: O436.1|O438.1
• 字数: 3121字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142202.0318

摘要

建立了移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统以提高全息光栅槽型对比度并降低由外部环境造成的曝光干涉条纹相位移动.根据系统的组成原理,分析了相位测量系统中莫尔条纹的产生条件及其与干涉条纹相位变化的关系,给出了探测器的选择方法.根据系统精度要求计算了A/D转换位数,自行设计了数字控制系统.提出采用光束移频方法来调整条纹相位,应用声光调制器对干涉条纹移动进行实时校正.实验结果表明,该系统采样频率可以达到5 kHz,对干涉条纹漂移和10 Hz以下的低频振动都有较好的抑制作用,相位变化3σ值小于0.12 rad,即相位变化小于±0.02个干涉条纹周期.该系统可以实时有效地锁定曝光干涉条纹,较好地满足全息曝光的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴音贺希格	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	112	817	16.0	23.0
2	张宁	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	80	479	11.0	18.0
3	唐玉国	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	79	905	17.0	26.0
4	齐向东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	61	630	16.0	22.0
5	宋莹	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	20	176	5.0	13.0