金刚石颗粒双阴极等离子溅射铬镀层显微结构研究

• 作者: 刘烨 徐江 揭晓华 王超 陶洪亮 魏菊
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 双阴极等离子溅射 镀层 金刚石
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 361-364,374
• 页数: 5页
• 分类号: TQ153
• 字数: 2584字
• 语种: 中文

摘要

通过FIB-SEM观察了镀覆温度为850℃双阴极等离子溅射镀铬金刚石的表面形貌;利用TEM、XPS分析了镀层厚度、微观结构及表层元素价态;在光学显微镜下观察酸洗后金刚石的镀层变化情况.结果表明,经双阴极等离子溅射镀覆后的金刚石在其表层形成了厚度约为500 nm的柱状结构镀层,镀层晶粒尺寸约为10 nm;酸洗后镀层仅出现轻微脱落,说明金刚石铬镀层十分致密.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王超	广东工业大学材料与能源学院	11	67	4.0	8.0
2	陶洪亮	南京航空航天大学材料科学与技术学院	3	5	2.0	2.0
3	魏菊		2	7	2.0	2.0
4	揭晓华	南京航空航天大学材料科学与技术学院	1	3	1.0	1.0
5	刘烨		1	3	1.0	1.0
6	徐江	广东工业大学材料与能源学院	1	3	1.0	1.0