氮化铝面内伸缩模态谐振器的研究现状

• 作者: 司朝伟 宁瑾 杨健 赵永梅 韩国威
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微机电系统(RF-MEMS) 氮化铝(AlN) 面内伸缩模态谐振器 谐振频率 品质因子 温度稳定性 动态电阻
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 374-380,393
• 分类号: TN384
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.06.005

摘要

综述了氮化铝面内伸缩模态的射频MEMS谐振器.氮化铝面内伸缩模态谐振器(contour-mode resonator,CMR)利用了氮化铝薄膜的压电效应,由器件的机械谐振再通过机电转化实现谐振功能,基本结构为电极层-氮化铝层-电极层.当前研究的两种典型的器件结构为方形振子梳齿电极结构和圆盘振子电容式结构.概述了氮化铝CMR的制备工艺,并重点介绍了磁控溅射法生长薄膜和ICP刻蚀等主要工艺环节.分别对氮化铝CMR的谐振频率、品质因子、温度稳定性和动态电阻等主要性能参数进行了理论分析,针对谐振器各参数的提升给出了具体的改进方向,同时讨论了某些性能的提升所带来的负面影响.氮化铝CMR具备面内集成的优点,随着器件频率的提高,将在无线通信领域具有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨健	中国科学院半导体研究所集成技术工程研究中心	56	833	18.0	27.0
2	宁瑾	中国科学院半导体研究所集成技术工程研究中心	13	44	4.0	6.0
6	司朝伟	中国科学院半导体研究所集成技术工程研究中心	3	9	2.0	3.0
7	韩国威	中国科学院半导体研究所集成技术工程研究中心	4	9	2.0	3.0
8	赵永梅	中国科学院半导体研究所集成技术工程研究中心	7	14	2.0	3.0