基于AVR单片机的高精度光学测厚系统设计

• 作者: 赵兴龙
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学测厚 高精度 AVR单片机 测量与监控
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与光学设计
• 页码范围: 539-542
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文

摘要

对薄膜测厚系统进行了详尽剖析,从整体上论述了膜厚测量系统,研究了测厚系统中薄膜测厚仪的关键硬件电路,对薄膜测厚仪的软件流程进行了离散设计.以AVR单片机为核心处理器进行了数据采集和处理,设计并生产出了在线式光学薄膜厚度测量与监控系统.通过与实际膜厚进行对比实验,验证了薄膜测厚系统具有高精度、高稳定性和高可靠性,可应用于实际工业生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵兴龙	宁夏师范学院物理与信息技术学院	4	4	1.0	2.0