高分辨X射线衍射元件的研制

• 作者: 刘刚 熊瑛 田扬超
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高分辨 X射线衍射元件 波带片
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 化学与物理类传感器
• 页码范围: 168-171
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.22
• 字数: 2058字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.02.004

摘要

X射线波带片是纳米X射线成像系统的核心元件之一,为了研制高分辨率X射线波带片,对纳米结构的电子束光刻和高精度电镀进行了实验研究。首先,通过对电子束曝光工艺版图进行优化设计,平衡了邻近效应对纳米结构的影响,有效地控制了光刻胶的扭曲和坍塌。实验结果表明,采用校正的工艺版图,用线曝光方式在800 pC/cm2剂量下可以研制出厚度为270 nm、最外环宽度为50 nm的高分辨率X射线波带片光刻胶结构。然后,在配制的柠檬酸金钾电镀液中,优化了电镀工艺参数。采用金含量为10%的柠檬酸金钾电镀液,各电镀参数pH值为4.2,电镀温度为50℃,电流密度为0.2 A/dm2电镀出高分辨率X射线波带片。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘刚	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	207	2369	24.0	40.0
2	熊瑛	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	13	48	4.0	6.0
3	田扬超	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	50	372	12.0	17.0