大尺寸触控面板用铜布线薄膜的制备

• 作者: 曾海军
• 来源期刊: 电镀与涂饰
• 学科: 工学
• 关键词: 触控面板 铜布线薄膜 聚对苯二甲酸乙二酯 磁控溅射 电镀铜 光刻 表面电阻
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 页码范围: 296-298
• 页数: 3页
• 分类号: TQ153.14
• 字数: 2189字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种高透光、电阻小，可用于触摸面板大型化的透明导电性薄膜的制造工艺，即在 PET(聚对苯二甲酸乙二酯)薄膜上形成肉眼不可见的铜网。其工艺流程主要包括低温等离子体表面清洗，磁控溅射Ni-Cr过渡层及Cu植晶层，硫酸盐镀铜层，光刻。所得铜布线薄膜的性能超过了一般ITO(氧化铟锡)膜的性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾海军		3	2	1.0	1.0